真空等離子（電漿）清洗機的維護和保養(yǎng)：

     第一，在進行任何維修或保養(yǎng)之前，所有相關(guān)的安全預防措施都應采取，而不限于本使用手冊所述。要關(guān)閉設(shè)備電源開關(guān)，切斷總電源保護器，關(guān)閉所有的煤氣，準備必要的工具包。

     第二，真空腔與真空發(fā)生系統(tǒng)的維護。

     A、真空腔和電極板是處理工件的工作區(qū)域，當工件使用到一定時間后，腔體內(nèi)仍有部分污物附著在電極板和腔壁上。處置方法：連續(xù)使用一個月后，用無塵布(紙)沾酒精清洗所有的電極板和腔壁，保持腔壁清潔。

     B、觀察窗是指工作人員在工作時觀察空腔內(nèi)放電的窗口，在使用一段時間后，窗口玻璃表面產(chǎn)生的微蝕會使觀察窗變得模糊。使用無塵布料(紙)，沾上酒精或丙酮，清洗玻璃或直接更換真空玻璃。

     C、真空泵中使用的油為防氧化專用油，及時更換對真空泵的正常工作有利，延長泵體的使用壽命，建議每隔三個月更換一次，要經(jīng)常注意觀察真空泵內(nèi)的油量是否充足，油面若低于使用下限(油面計旁有明顯標志)，應及時給泵注入新油，直至正常使用。

     真空泵油的具體更換步驟：

     為真空泵加油口打開注油塞(內(nèi)六角扳手)；打開放油門上的放油塞子(注意旋鈕開關(guān)方向)；安全地放油，此時測油儀內(nèi)的油面將下降；清空泵內(nèi)的油液后將排油塞擰緊；從加油口注入新的油，并加適量超出下限；用六角扳手緊固注油塞。注：替換時請注純純專用油，把泵里原來用過的油請放干凈。員工換油時須戴膠皮手套、口罩。請將排放的廢油妥善處理，并安全處置。泵排氣口與油霧濾清器連接在一起，油霧濾清器可除去90%的真空泵排放的油霧，可防止對工作環(huán)境的污染，并可起到消音作用。濾下的油應從油槽中排出出本體，否則機油會在濾芯和本體之間積聚，從而造成油霧。

     一、濾芯過濾裝置建議使用三個月更換一次。如果不排出廢氣，檢查濾芯是否堵塞，必要時更換濾芯。電漿為高頻器件，涉及頻率漂移等問題，使用時應在2年左右調(diào)整一次，客戶要確定好時間后與我們聯(lián)系，返廠進行校正調(diào)整。為確保真空密封的可靠性，設(shè)備密封在18個月內(nèi)更換一次，此后每隔18個月更換一次。真空等離子清洗機消耗品清單：

     (1)真空腔：真空腔主要分為兩類：1)不銹鋼真空腔；2)石英腔。

     是否比較了真空等離子清洗和傳統(tǒng)清洗？

     其次，整個處理過程沒有污染。血漿清洗機本身是非常環(huán)保的設(shè)備，不會對環(huán)境造成任何污染，處理過程也不會造成污染。

     接著，處理效率高，可以在線全自動生產(chǎn)。等離子體清洗，只要對樣品表面進行處理，一般在2S內(nèi)即可達到效果。可與原生產(chǎn)線配套，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)省人力成本。處理效果是穩(wěn)定的。等離子體清洗處理效果非常均勻、穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后長期保持效果良好。

     真空式等離子處理系統(tǒng)設(shè)備參數(shù)：

     射頻電源功率（RF Power）：600W/13.56MHz。

     (2)真空泵：有多種類型的真空泵，其選用都會根據(jù)用戶真空度、體積要求進行配置。

     作為一種重要材料表面改性方法，真空等離子清洗在許多領(lǐng)域得到了廣泛應用。同超聲清洗、UV清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，小型真空等離子清洗機具有以下優(yōu)點：

     先處理溫度較低。加工溫度可低至80℃，溫度在50℃以下，加工溫度較低，可保證樣品表面無熱損傷。